ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 LR60 配备氦气密闭电机
ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 LR60 配备氦气密闭电机ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 LR60 配备氦气密闭电机通过在低温范围内均匀加热泵体，该泵不仅适用于 PVD 工艺，而且适用于对装载室和卸载室进行排气，其中缩短排气时间对于提高吞吐量尤为重要。特征低温范围内均匀加热（LR系列）除了PVD工艺外，它特别适用于装载/卸载室的排气，其中缩短排气时间对于提高吞吐量非常重要。配备
- 型号： LR60
ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 LR60 配备氦气密闭电机
ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 LR60 配备氦气密闭电机
通过在低温范围内均匀加热泵体，该泵不仅适用于 PVD 工艺，而且适用于对装载室和卸载室进行排气，其中缩短排气时间对于提高吞吐量尤为重要。
特征
低温范围内均匀加热（LR系列）
除了PVD工艺外，它特别适用于装载/卸载室的排气，其中缩短排气时间对于提高吞吐量非常重要。配备氦气
密闭电机，密封结构，安全性极高。瞬时停电对策
我们采取了1000毫秒以内的瞬时停电对策。优异的耐腐蚀性
主要部件采用特殊的表面处理，表面硬度高，耐腐蚀性优异。当腐蚀性气体排出时，减少泵内部的腐蚀。通讯功能
可以读取有关泵运行状态和警告/警报历史记录的数据。通过使用专用软件并与计算机通信，可以进行集中监控。
用途
薄膜沉积设备（溅射设备/蒸发设备等）
缩短装卸间排气时间
作为辅助排气泵（涡轮分子泵和机械增压泵的辅助排气）
规格
| 模型 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | ||
| 最大抽速 | 50赫兹 | 立方米/小时 （升/分钟） | 62 (1030) | 112 (1860) | 183 (3100) | 440 (7333) | |
| 60赫兹 | 立方米/小时 （升/分钟） | 80 (1333) | 126 (2100) | 237 (3950) | 440 (7333) | ||
| 极限压力 | 5.0 好 | ||||||
| 最大入口压力（吸入压力） | 气压 | ||||||
| 最大排气口压力（排出压力） | 1Pa～大气压 | ||||||
| 进气口（CE规格） | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG100 | ||||
| 排气口 | KF40 | VG50 | |||||
| 质量 | 公斤 | 180 | 245 | 第335章 | 第415章 | ||
| 电力*1 | 三相 | 交流电压（赫兹） | 200 (50/60) , 220 (60) | 180~240 / 380~440 (50/60) | |||
| 当前值 | 稳定状态 | A | 6.9 (200V时) | 11.2 (200V时) | 18.9 (200V时) | 20.8 (200V时) | |
| 最大值 | A | 7.3 (200V时) | 11.8 (200V时) | 20.6 (200V时) | 48.5 (200V时) | ||
| 冷却水暂压 | 兆帕 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||
| 冷却水进出水压差 | 兆帕 | >0.1 | >0.2 | ||||
| 冷却水流量 | 升/分钟 | >5.0 | >4.0 | ||||
| 吹扫气体 | 一次压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | ||||
| 二次压力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | |||||
| 氮气吹扫 | 轴 | 可持续发展管理 | 5 | ||||
| 加斯巴拉 | 可持续发展管理 | 0~45 | 没有任何 | 0~45 | |||
*1 请在订购时注明。
| 模型 | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 | LR3601-T(TT) | LR3601-R | LR3601-TR(TTR) | ||
| 使用泵 | 数据恢复计划 | LR60 | LR90 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T | |
| MPB | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C(-T) | PRC-036D | PRC-036D(DT) | ||
| 最大抽速 | 50赫兹 | 立方米/小时 （升/分钟） | 359 (5,980) | 653 (10,900) | 1,012 (16,900) | 1,701 (28,350) | 3,200 (53,333) | |||
| 60赫兹 | 立方米/小时 （升/分钟） | 365 (6,080) | 701 (11,700) | 1,051M (17,500) | 1,784 (29,700) | 3,200 (53,333) | ||||
| 极限压力 | 0.67 好 | |||||||||
| 最大入口压力（吸入压力） | 气压 | |||||||||
| 最大排气口压力（排出压力） | 1Pa～大气压 | |||||||||
| 进气口（CE规格） | VG80 (KF80) | VG100 (KF100) | VG150 (KF100) | VG150 | ||||||
| 排气口 | KF40 | KF50 | ||||||||
| MBP表面处理 | ○ *2 | ○ *2 | ○ *2 | ○ *2 | × | 时间：× 时间：× | × | TR:× TTR:〇 | ||
| 质量 | 公斤 | 275 | 370 | 第420章 | 第545章 | 660 | 720 | 660 | 720 | |
| 电力*3 | 三相 | 交流电压（赫兹） | 200 (50/60), 220 (60) | 180~240 / 380~440 (50/60) | ||||||
| 当前值 | 稳定状态 | A | 7.0 (200V时) | 12.3 (200V时) | 13.7 (200V时) | 21.4 (200V时) | 31.0 (200V时) 20.5 (400V时) | 35.4 (200V时) 20.5 (400V时) | ||
| 最大值 | A | 9.6 (200V时) | 19.0 (200V时) | 24.2 (200V时) | 39.8 (200V时) | 58.4 (200V时) 40.5 (400V时) | 82.0 (200V时) 40.5 (400V时) | |||
| 冷却水暂压 | 兆帕 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | |||||||
| 冷却水进出水压差 | 兆帕 | >0.1 | 0.1~0.3 | 0.2~0.5 | ||||||
| 冷却水流量 | 升/分钟 | >5.0 | >4.0 | |||||||
| 吹扫气体 | 一次压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | |||||||
| 二次压力 | 兆帕 | 0.05~0.1 | ||||||||
| 氮气吹扫 | 轴 | 可持续发展管理 | 5 | |||||||
| 加斯巴拉 | 可持续发展管理 | 0~45 | 无 *4 | 0~45 | 无 *4 | 0~45 | ||||
*2 LR300、LR600、LR1200、LR1800 MBP 可选择有或无表面处理。
*3 请在订购时注明。
*4 我们还可以根据应用引用允许使用气体玫瑰花的规格。
配饰
■消音器
| 模型 | 材质 | 表面 处理 | 质量 | 连接法兰 | LR 300 | LR 600 | LR 1200 | LR 1800 | LR 3601 | LR 60 | LR 90 | LR 180 | LR 421 | LR 421-T |
| RS-01 + 套件 A | 不锈钢 304 | GBB 处理 | 4.1 公斤 | KF40 | ○ | - | - | - | - | ○ | ○ | - | - | - |
| RS-01 + 套件 B | KF40 | - | ○ | ○ | - | - | - | - | - | - | - | |||
| RS-02 + 套件 A | 8.3 公斤 | KF40 | ○ | - | - | - | - | - | - | ○ | - | - | ||
| RS-02 + 套件 B | KF40 | - | ○ | ○ | ○ | - | - | - | - | - | - | |||
| RS-03 + 套件 A | 抛光板 | 12.5 公斤 | KF50 | - | - | - | - | - | - | - | - | ○ | ○ | |
| RS-03 + 套件 B | - | - | - | - | ○ | - | - | - | - | - |