ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 GR60A 高负载应用型
ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 GR60A 高负载应用型ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 GR60A 高负载应用型干式真空泵 GR 系列是一款专为一般工业设计的简单泵，基于经过验证且可靠的 LR 和 HR 系列。特征可用于高负载应用，例如从大气反复抽真空至高压区域连续运行。非常适合需要高吞吐量的负载锁定室（装载室和卸载室）的排气。与通用感应电机兼容可加装防爆电机等特殊电机（选配）
- 型号： GR60A
ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 GR60A 高负载应用型
ULVAC爱发科 多级式干式真空泵 GR60A 高负载应用型
干式真空泵 GR 系列是一款专为一般工业设计的简单泵，基于经过验证且可靠的 LR 和 HR 系列。
特征
可用于高负载应用，例如从大气反复抽真空至高压区域连续运行。
非常适合需要高吞吐量的负载锁定室（装载室和卸载室）的排气。
与通用感应电机兼容
可加装防爆电机等特殊电机（选配）
采用多电压兼容电机
用途
空气、惰性气体等洁净气体的真空排气
各种成膜设备装卸室的排气
一般工业应用，例如真空干燥、真空气体置换和真空脱气
真空绝热、充气等真空气体置换
规格
| 模型 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
| 最大抽速 | 50赫兹 | 立方米/小时(升/分钟) | 62(1030) | 112(1030) | 183(3100) | |||
| 60赫兹 | 立方米/小时(升/分钟) | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
| 极限压力*1 | 出色地 | 5.0 | ||||||
| 最大入口压力 | 气压 | |||||||
| 最大出口压力 | 出色地 | 1~大气压 | ||||||
| 进气口 | VG50 | VG80 | ||||||
| 排气口 | 西北40 | |||||||
| DRP表面处理 | ○ | |||||||
| 发动机 | 输出功率[千瓦] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
| 电压[V] | 50赫兹 | 200~240/380~415 | ||||||
| 60赫兹 | 200~240/380~460 | |||||||
| 质量 | 公斤 | 128 | 188 | 268 | ||||
| 冷却方式 | 冷却水 一次供水压力 | 兆帕 | 0.1~0.3 | |||||
| 冷却水 进出水压差 | 兆帕 | >0.1 | ||||||
| 冷却水温度 | ℃ | 10~30*2 | ||||||
| 冷却水流虑 | 升/分钟 | >5.0 | ||||||
| 氮气 | 一次供给压力 | 兆帕 | 0.1~0.5 | |||||
| 二次侧 调整压力*3 | 兆帕 | 0.05~0.1（运行时） | ||||||
| 轴 | 可持续发展管理 | 5.0*4 | ||||||
*1 极限压力是氮气（轴封气体）为5.0SLM时的值。
*2 无凝露。
*3 这是由调节器调节的压力表值。
*4 氮气（轴封气体）流量固定为5.0SLM。
配饰
| 模型 | 材质 | 表面处理 | 质量(kg) | 连接 法兰 | GR60A | GR90A | GR180A | |
| 消音器 | RS-01+ 套件 A | SUS304 | GBB处理 | 4.1 | KF40 | ○ | ○ | - |
| RS-02+ 套件 C | SUS304 | GBB处理 | 8.3 | KF40 | - | - | ○ | |