ST200-R 三极管型电离真空计 ULVAC爱发科

特征

• 提高可用性：可通过 PC/智能手机连接进行设定点设置、状态确认等

• 灯丝寿命通知功能：通过监控灯丝功率，可以提前通知灯丝寿命。

• 可连接不同测量范围的探头：多离子计允许根据应用选择探头。

• 紧凑：明显小于传统产品（控制器体积减少 56%），世界最小级别

• 产品阵容丰富：除了模拟输出规格（ST200-A）和串行通信规格（ST200-R）外，还将增加EtherCAT规格（ST200-E）。

• 世界首款三极管型金属电离真空计（正在申请专利）：真空计即使在恶劣环境下也能实现长寿命。

• 压力测量范围广：可测量大气压至高真空范围（1×10 ⁺⁵～ 1×10 ^{-5 Pa）（连接选购件SWU10-R时）}

• 精确的大气压力测量：可以检查腔室开口的大气压力（当连接可选单元 SAU 时）

目的

• 用于有机EL、触摸屏等制造设备的极限压力确认和工序管理。

• 用于检查真空炉等各种工业真空设备的极限压力。

• 用于在含有大量碳氢化合物（油基）的大气中进行测量

• 用于在真空零件加工过程中残留有切削油或清洗液的环境中进行测量。

• 适用于旨在减少更换真空计探头频率的真空设备。

*在腐蚀性气体（卤素气体）气氛中使用时，请与我们联系。