ULVAC爱发科 皮拉尼真空计型测量单元 SP1
ULVAC爱发科 皮拉尼真空计型测量单元 SP1ULVAC爱发科 皮拉尼真空计型测量单元 SP1传感器单元 (SP1) 是 G-TRAN 系列的皮拉尼真空计型测量单元。传感器单元采用探头与电路一体化的结构（可更换探头），是适合降低成本、节省空间的真空计。特征传感器规格：不需要压力指示器时，・降低真空计的成本，节省控制面板周围的空间，节省布线等。易于更换探头灯丝材料采用具有高耐腐蚀性的铂。您
- 型号： SP1
ULVAC爱发科 皮拉尼真空计型测量单元 SP1
ULVAC爱发科 皮拉尼真空计型测量单元 SP1
传感器单元 (SP1) 是 G-TRAN 系列的皮拉尼真空计型测量单元。
传感器单元采用探头与电路一体化的结构（可更换探头），是适合降低成本、节省空间的真空计。
传感器单元采用探头与电路一体化的结构（可更换探头），是适合降低成本、节省空间的真空计。
特征
传感器规格：不需要压力指示器时，
・降低真空计的成本
，节省控制面板周围的空间
，节省布线
等。易于更换探头
灯丝材料采用具有高耐腐蚀性的铂。
您一直使用的测量头（SP1：WP-01、02、03、16）可以直接使用。
可输出 2 个设定点
SP1：压力为0～5V输出（非线性输出）
电源电压：可使用DC24V输入运行
用途
用于半导体和电子元件等各种制造设备的低真空区域的过程控制。
用于各种工业设备（例如熔炉）的低真空区域的过程控制。
用于在线型、单晶圆型等具有多个处理室的各种制造设备的低真空区域的过程控制。
| 类型 | 传感器单元 |
| 模型 | SP1 |
| 自适应探头 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
测量精度 | ±15%（51Pa～760Pa） |
| ±30%（10Pa～1000Pa） | |
| ±50%（0.4Pa～3000Pa） | |
| 工作温度限制 | 10～40℃ |
| 采样时间 | 50ms 5次移动平均处理 |
测量值输出 | 非线性输出：DC0-5V（最大10V） |
| (更新时间) 50 ms | |
| (分解能) 10 mV | |
| 设定点 1/2 调节输出 | 非线性输出：DC 0-5V（最大10V） |
| 控制输出信号 | 集电极开路，负逻辑 |
| Error信号 | |
| 设定点 1/2 | |
| LED表示 | 功率、误差、设定点 1/2 |
| 电源电压 | DC24V±2V，90mA（最大） |
| 输入/输出连接器 | D-sub-15P（M2.6螺丝） |
| 本体质量 | 190g（不含测量尖） |
配件 | 输入/输出连接器 1套 |
| 快速手册1份 |
IO、模拟地、电源地不隔离。