TAISEI大成技研

TAISEI大成技研 涡流型+元件型 TU-6100/J气态除粉装置

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  • 型号: TU-6100/J

玉崎供应-TAISEI大成技研 TU-1500/J组合型气态除粉装置

玉崎供应-TAISEI大成技研 组合型气态除粉装置TU-3100/J

玉崎TU-4100/J-TAISEI大成技研 气态除粉装置 低损压 密度低

玉崎TU-5100/J-TAISEI大成技研 气态除粉装置 低损压 密度低

TAISEI大成技研 涡流型+元件型 TU-6100/J气态除粉装置


TRAPPACK(组合型)
TRAPACK的进一步进化,配备组合型元件(涡流型+元件型)的气态除粉装置。
图片关键词
图片关键词外观结构图片关键词图片关键词特征
图片关键词
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高性能
去除细小反应产物(细粉)
低压降
单元密度低,网格空隙大
海量收藏
粉末在螺旋和元件部分分层。
图片关键词
・主要用途 / CVD、蚀刻 ・一次元件 / 涡流元件
・二次元件 / Trapak 元件 ・安装位置 / 排气
图片关键词
TU-1500/J
(组合型)
陷阱包: 陷阱包:tu-1500主要用途:蚀刻/CVD
元件类型:HL + 螺旋
端口尺寸:NW40、NW50
尺寸:□370mm x H707mm
重量:49kg / 65kg
图片关键词
TU-3100/J
(组合型)
陷阱包:陷阱包:tu-3100主要用途:蚀刻/CVD
元件类型:IL+涡流
连接尺寸:NW40、NW50
尺寸:□400mm x H1013mm
重量:93kg / 98kg
图片关键词
TU-4100/J
(组合型)
陷阱包:trappack:tu-4100主要用途:蚀刻/CVD
元件类型:KL + 螺旋
端口尺寸:NW40、NW50
尺寸:□430mm x H1064mm
重量:104kg / 147kg
图片关键词
TU-5100/J
(组合型)
图片关键词主要用途:蚀刻/CVD
元件类型:KL + 螺旋
端口尺寸:NW40、NW50
尺寸:□485mm x H1064mm
重量:110kg / 127kg
图片关键词
TU-6100/J
(组合型)
图片关键词主要用途:蚀刻/CVD
元件类型:KL + 螺旋
连接尺寸:NW40、NW50
尺寸:□535mm x H1264mm
重量:160kg / 220kg




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