TAISEI大成技研

玉崎供应-TAISEI大成技研 气体微粉体除去设备TU-105LMJ

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  • 型号: TU-105LMJ

TAISEI大成技研 TRAPPACK气体除粉装置TU-50LM

TAISEI大成技研 TRAPPACK气体除粉装置TU-50LMJ

TAISEI大成技研 TU-65LM气体除粉装置 螺旋结构

TAISEI大成技研 TU-65LMJ气体除粉装置 螺旋结构

TAISEI大成技研 涡流型 气体除粉装置TU-85LM

日本TAISEI大成技研 涡流型 气体除粉装置TU-85LMJ

玉崎供应-TAISEI大成技研 气体粉末除尘设备TU-95LM

玉崎供应-TAISEI大成技研 气体粉末除尘设备TU-95LMJ

玉崎供应-TAISEI大成技研 气体微粉体除去设备TU-105LM

玉崎供应-TAISEI大成技研 气体微粉体除去设备TU-105LMJ


产品列表

气体的粉体除去装置「TRAPPACK」,阵容着要素类型,旋涡类型,组合类型。


元素类型

反应产物(粉体)从元件表面到深层都被捕捉到。采用了捕集自重10倍以上粉体的“老虎包元件”。


涡流型

安装在旋涡结构物(旋涡加工板)中。排气中的反应生成物面向中央,

采用在旋涡旋流中反复吸附捕集碰撞的“旋涡元件”。


组合型

通过采用多层“背包元素”和“漩涡元素”,可以实现两种元素的优点。

TRAPPACK(Uzu型)
这是一种气体除粉装置,是 Trapac 的进一步发展,配备了漩涡型元件。
图片关键词
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图片关键词
Trapac(Uzu型):外观和结构
高性能
由于螺旋结构,粉末不会长时间经历压力损失
低压降
几乎所有粉末都被涡流数和涡流螺距的组合所排除。
海量收藏
粉末分层在安装的涡流元件的表面上。
图片关键词
・主要用途 / CVD、蚀刻 ・一次元件 / 涡流元件
・二次元件 / 无 ・安装位置 / 真空、排气
图片关键词
TU-50LM /LMJ
(涡流型)
陷阱包: 陷阱包:tu-50lm/lmj主要用途:蚀刻/CVD
元件类型:ASD-50 涡流
连接尺寸:NW40、NW50
尺寸:□370mm x H707mm
重量:53kg / 68kg
图片关键词
TU-65LM /LMJ
(涡流型)
陷阱包: 陷阱包:tu-50lm/lmj主要用途:蚀刻/CVD
元件类型:ASD-65 涡流
连接尺寸:NW40、NW50
尺寸:□400mm x H1013mm
重量:94kg / 99kg
图片关键词
TU-85LM /LMJ
(涡流型)
陷阱包: 陷阱包:tu-85lm/lmj主要用途:蚀刻/CVD
元件类型:ASD-85 涡流
连接尺寸:NW40、NW50
尺寸:□430mm x H1064mm
重量:100kg / 115kg
图片关键词
TU-95LM /LMJ
(涡流型)
陷阱包: 陷阱包:tu-95lm/lmj主要用途:蚀刻/CVD
元件类型:ASD-95 涡流
连接尺寸:NW40、NW50
尺寸:□485mm x H1064mm
重量:145kg / 160kg
图片关键词
TU-105LM /LMJ
(涡流型)
陷阱包: 陷阱包:tu-95lm/lmj主要用途:蚀刻/CVD
元件类型:ASD-105 涡流
连接尺寸:NW40、NW50
尺寸:□535mm x H1264mm
重量:180kg / 240kg




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