YAMAMOTO-MS山本鍍金試験器 晶圆电镀设备A-52-ST2-P08
尺寸晶圆尺寸阳极尺寸（毫米）产品编号2英寸60x170xt2A-52-ST2-P084英寸106×200×2A-52-ST4-P086寸160×275×t2A-52-ST6-P088寸200×350×2A-52-ST8-P08微蜂窝I59×95×t2A-53-M1-P08微蜂窝II74×105×t2A-53-M2-P08微蜂窝III94×140×2A-53-M3-P0810×1528×120×2A
- 型号：
尺寸
| 晶圆尺寸 | 阳极尺寸（毫米） | 产品编号 |
| 2英寸 | 60x170xt2 | A-52-ST2-P08 |
| 4英寸 | 106×200×2 | A-52-ST4-P08 |
| 6寸 | 160×275×t2 | A-52-ST6-P08 |
| 8寸 | 200×350×2 | A-52-ST8-P08 |
| 微蜂窝I | 59×95×t2 | A-53-M1-P08 |
| 微蜂窝II | 74×105×t2 | A-53-M2-P08 |
| 微蜂窝III | 94×140×2 | A-53-M3-P08 |
| 10×15 | 28×120×2 | A-53-M1-P81 |
| 30X30 | 44×145×t2 | A-53-M3-P81 |
材料
| 产品编号 (*1) | 产品名称 |
| A-52-ST□-P08-02 | 住友电解镍公司 |
| A-52-ST□-P08-07 | 住友SK镍业 |
| A-52-ST□-P08-08 | 磷铜 |
| A-52-ST□-P08-10 | 无氧铜（电解铜） |
| A-52-ST□-P08-12 | 高纯锡（三菱电解锡） |
| A-52-ST□-P08-18 | 钛铂金 |
| A-52-ST□-P08-28 | 钛铱（硫酸铜用） |
| A-52-ST□P08-28-2 | 钛铱（金、三价铬等） |