KOFLOC科赋乐

KOFLOC科赋乐 全金属数字质量流量控制器EX-550C

KOFLOC科赋乐 全金属数字质量流量控制器EX-550C它是一款全金属MFC,配备高速绕线传感器,具有出色的内部开发稳定性。SEMI兼容106mm(可选择124mm)表面,RS485通信是标准配置。高精度腐蚀性气体兼容产品,1.0%SP。金属密封结构高速应答及出色的零点稳定性0-5V或4-20mA输入/输出信号,电源可从±15 V或24 V单电源选择□电源连接器采用通用性较高的D-sub9针连接

  • 型号:

KOFLOC科赋乐 全金属数字质量流量控制器EX-550C


它是一款全金属MFC,配备高速绕线传感器,

具有出色的内部开发稳定性。

SEMI兼容106mm(可选择124mm)表面,

RS485通信是标准配置。

高精度腐蚀性气体兼容产品,1.0%SP。

金属密封结构

高速应答及出色的零点稳定性

0-5V或4-20mA输入/输出信号,电源

可从±15 V或24 V单电源选择

□电源连接器采用通用性较高的D-sub9针连接器

通过切换旋转开关,可以使用主机中登记的气体类型。

※流量是与N2气体的比率计算出的值

标准配备通讯功能(RS485)

符合RoHS•CE标准


形式质量流量控制器
EX-550C
质量流量计
EX-550M
传感器方式热绕组传感器
阀门方式比例螺线管阀门(未通电时关闭)
目标气体(* 1)N2,Air,H2,He,Ar,O2,CO2等
(未列出的气体换算成N2)
流量范围(* 2)10 SCCM~5 SLM
控制范围(测量范围)2~100%(F.S.)
响应速度总流量控制范围在1sec内(within±2%F.S.)
L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa
精度±1.0%SP(25%FS至100%FS),±0.25%FS(25%FS)
再现性±0.2%F.S.
工作压差(* 3)50~300 kPa(Ar,CO2:100 kPa~300 kPa)
最大入口压力350kPa(G)
耐压980kPa(G)
He泄漏率1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下
温度允许周围温度5~50℃
精度保证温度15~35℃
允许储存温度-10~60℃
允许环境湿度10~90%RH (无结露)
气体接触材料SUS316L,磁性不锈钢,PTFE,Ni-Co
电气连接Dsub 9针KFC标准(符合SEMI标准)
HR-10A×2
流量设定输入信号0~5 VDC(输入电阻约1MΩ)
Or 4~20mA(输入电阻约250Ω)
流量输出信号0~5 VDC(负载电阻10kΩ以上)
or 4~20mA(负载电阻500Ω以下)
数字通信通过RS485旋转开关设置地址
所需电源(DC)+15 VDC(±5%)100 mA以下,-15 VDC(±5%)150 mA以下
or+ 24VDC(±10%)180mA以下(MFM都为100mA以下)
接头相当于1/4 VCR
安装姿势未指定
重量约800g约550g


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