绝压型真空调节结构 L96SS 玉崎供应YUTAKA
绝压型真空调节结构 L96SS 玉崎供应YUTAKA绝压型真空调节结构 L96SS 玉崎供应YUTAKA产品特点L96系列是专为半导体工艺制造气体设计的具有真空调节结构的产品。最适合低蒸气压气体。基本结构为外部金属密封和焊接接头规格，是具有优良的外部泄漏和颗粒性能的产品。规格入口压力0.99MPa以下调节压力－0.1MPa～0～0.2MPa承受压力22.2MPa（入口侧）Cv值0.07工作温度-1
- 型号： L96SS
绝压型真空调节结构 L96SS 玉崎供应YUTAKA
绝压型真空调节结构 L96SS 玉崎供应YUTAKA
产品特点
L96系列是专为半导体工艺制造气体设计的具有真空调节结构的产品。最适合低蒸气压气体。基本结构为外部金属密封和焊接接头规格，是具有优良的外部泄漏和颗粒性能的产品。
规格
| 入口压力 | 0.99MPa以下 |
| 调节压力 | －0.1MPa～0～0.2MPa |
| 承受压力 | 22.2MPa（入口侧） |
| Cv值 | 0.07 |
| 工作温度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa·m3/s·He（真空法） |
| 内部容积 | 5.739 cm（不含3个压力表和配件） |
| 重量 | 约1.6公斤 |
| 安装方法 | 背面用螺丝安装（见外图） |