YUTAKA宇高工程 标准流量型压力控制器 L81SS-CO
YUTAKA宇高工程 标准流量型压力控制器 L81SS-COYUTAKA宇高工程 标准流量型压力控制器 L81SS-CO产品特点L81系列是专为半导体工艺制造气体设计的产品，具有两级减压结构。基本结构为外部金属密封和焊接接头规格，是具有优良的外部泄漏和颗粒性能的产品。由于具有两级减压结构，不易受原始压力波动的影响，可以获得稳定的压力和流量，也非常适合因绝热膨胀而温降较大的液化气体。 规格入口压力1
- 型号： L81SS-CO
YUTAKA宇高工程 标准流量型压力控制器 L81SS-CO
YUTAKA宇高工程 标准流量型压力控制器 L81SS-CO
产品特点
L81系列是专为半导体工艺制造气体设计的产品，具有两级减压结构。基本结构为外部金属密封和焊接接头规格，是具有优良的外部泄漏和颗粒性能的产品。由于具有两级减压结构，不易受原始压力波动的影响，可以获得稳定的压力和流量，也非常适合因绝热膨胀而温降较大的液化气体。
规格
| 入口压力 | 14.8MPa以下（最大19.6MPa） |
| 调节压力 | 最大0.99MPa （范围规格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.8MPa、0～0.99MPa） |
| 气源压力波动 | 入口压力：调节压力每0.1MPa变化0.000007MPa |
| 承受压力 | 22.2MPa（入口侧） |
| Cv值 | 0.03 |
| 工作温度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa･m3/s･He（真空法） |
| 内部容积 | 8.9cm（不含3个压力表及配件） |
| 重量 | 约2.0公斤 |
| 安装方法 | 使用螺母安装，可在正面和背面进行面板安装 |