L20SS 高压标准流量型压力调节器 YUTAKA宇高工程
L20SS 高压标准流量型压力调节器 YUTAKA宇高工程 L20SS 高压标准流量型压力调节器 YUTAKA宇高工程 产品特点L20系列是针对高压型半导体工艺制造气体而设计的产品，基本结构为外部金属密封和焊接接头规格，是具有优异的外部泄漏和颗粒性能的产品。此外，还有多种选项可支持多种高纯度气体，使其成为气瓶柜的理想选择。 规格入口压力14.8MPa以下（最大19.6MPa）调节压力最大0.99M
- 型号： L20SS
L20SS 高压标准流量型压力调节器 YUTAKA宇高工程
L20SS 高压标准流量型压力调节器 YUTAKA宇高工程
产品特点
L20系列是针对高压型半导体工艺制造气体而设计的产品，基本结构为外部金属密封和焊接接头规格，是具有优异的外部泄漏和颗粒性能的产品。此外，还有多种选项可支持多种高纯度气体，使其成为气瓶柜的理想选择。
规格
| 入口压力 | 14.8MPa以下（最大19.6MPa） |
| 调节压力 | 最大0.99MPa （范围规格：0～0.2MPa、0～0.4MPa、0～0.6MPa、0～0.99MPa） |
| 气源压力波动 | 入口压力：调节压力每0.1MPa变化0.00021MPa |
| 承受压力 | 22.2MPa（入口侧） |
| Cv值 | 0.09 |
| 工作温度 | -10 至 +40°C |
| 外漏 | 1×10－11Pa·m3/s·He（真空法） |
| 内部容积 | 4.67cm（不含3个压力表及配件） |
| 大量的 | 约1.29公斤 |
| 安装方法 | 使用前面板安装螺母或后螺钉进行安装（见外观图） |