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HORIBA堀场低浓度HF / HCl / NH3 浓度监测仪HF-960M

HORIBA堀场低浓度HF / HCl / NH3 浓度监测仪HF-960M最适合一浴清洗和单张清洗,高精度测量低浓度氢氟酸、盐酸和氨在半导体清洗过程中,随着器件的演进和小型化,需要将用于RCA清洗的化学溶液控制在低浓度。HF-960M 使用具有优异耐腐蚀性的传感器,可高速测量低浓度的氢氟酸、盐酸和氨水,是一浴清洗和单晶片清洗的理想选择。特征:测量 5 种 HF 浓度、HCl 浓度、NH3 浓度、

  • 型号: HF-960M

HORIBA堀场低浓度HF / HCl / NH3 浓度监测仪HF-960M

最适合一浴清洗和单张清洗,高精度测量低浓度氢氟酸、盐酸和氨

在半导体清洗过程中,随着器件的演进和小型化,需要将用于RCA清洗的化学溶液控制在低浓度。

HF-960M 使用具有优异耐腐蚀性的传感器,可高速测量低浓度的氢氟酸、盐酸和氨水,是一浴清洗和单晶片清洗的理想选择。

特征:测量 5 种 HF 浓度、HCl 浓度、NH3 浓度、电导率和温度

模拟输出可在浓度测量范围内任意设定

配备7个触点输出点

配备3个传输输出

规格:产品名称低浓度HF / HCl / NH 3浓度监测仪

型号名称HF-960M

环境温度-5 至 45°C

相对湿度20-85%(无冷凝)

储存温度-25 至 65°C

电源供应额定电压 24V DC 10W (max)

外形尺寸96 (W) x 96 (H) x 115 (D) 外壳深度:约 105 mm(安装在面板上时)

大量的约550克

符合标准CE 标志,FCC Part15

可滚动的

外形尺寸等(单位:mm)


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