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分密度计（专用机） FUD-1 Model-13

分密度计（专用机） FUD-1 Model-13

产品概览在保持 FUD-1 Model-13 的优点（例如可维护性和高精度在线测量）的同时，该型号具有用于半导体制造过程的小单元型发射器。图表FUD-1 Model-13　*以下为配置示例单组分密度计的特点可实时测量浓度，易于构建浓度控制系统。标配模拟 DC4 至 20mA 和数字 RS232C标配测量误差输出和报警输出标配自诊断功能和错误信息显示小巧轻便的电池型变送器可直接安装在线路上接液部分材

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产品概览

在保持 FUD-1 Model-13 的优点（例如可维护性和高精度在线测量）的同时，该型号具有用于半导体制造过程的小单元型发射器。

图表

FUD-1 Model-13　*以下为配置示例
单组份密度计（专用）

单组分密度计的特点

可实时测量浓度，易于构建浓度控制系统。

  • 标配模拟 DC4 至 20mA 和数字 RS232C

  • 标配测量误差输出和报警输出

  • 标配自诊断功能和错误信息显示

  • 小巧轻便的电池型变送器可直接安装在线路上

  • 接液部分材料采用PFA，小输出设计对化学品无影响


优点

  • 可以进行高精度的连续测量

  • 免维护，无需定期调整或校准

  • 安装方便，安装时无需进行各种调整

  • 通过实时输出轻松反馈过程


用法

  • CMP工艺中的CMP浆料或氧化剂浓度管理等。

  • 稀释过程中各种化学品的浓度管理（H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等）

  • 清洗过程中的清洗液浓度管理（HF、NH4OH、KOH、IPA等）

  • 蚀刻过程中的蚀刻液浓度管理（HF、H2SO4等）




规格

格式FUD-1 Model-13
测量参数超声波传播速度/温度
展示LCD（浓度、温度、声速、各种参数）
输出信号模拟4～20mA DC（浓度值可自由设定）
数字RS232C（浓度、温度、声速、错误代码）
报警 上下限测量错误
电源100V 至 240V AC 50/60Hz（也可使用 24V DC）
结构面板安装型（符合DIN标准）、面板安装型（可选装防雨外壳）
环境温度0 至 50°C RH85% 或更低（无结露）
0 至 100°C 特殊规格 -10 至 160°C（100°C 范围）
功能输出量程设定、报警输出设定、浓度显示移动平均、浓度显示偏置增益设定功能、自诊断功能、故障安全功能、异常值解除
RS485输出（不能与RS232C同时输出）
选项温度输出（4 至 20mA DC）
渠道多达 10 个通道
适用变送器型号 13 : SA-20S26/SA-20S27/SA-20M5


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