旋转蜗轮型SURUGA SEIKI（骏河精机）滑台应用于半导体设备KRW06360C-B基本规格Ⅰ舞台表面尺寸φ59mm运动量360°负载能力 [kgf]3个负载能力 [N]29.4移动机构蜗轮减速比1/180指导深沟球轴承主要成分铝 - 黑色阳极氧化基本规格二[控制器]DS102/DS112支持（需要两端带连接器的电缆）电机选项5相步进电机附属电缆标准电缆一端松动 2m润滑脂规格标准润滑脂最大速
旋转蜗轮型SURUGA SEIKI（骏河精机）滑台应用于半导体设备KRW06360C-B
| 基本规格Ⅰ | 舞台表面尺寸 | φ59mm |
|---|---|---|
| 运动量 | 360° | |
| 负载能力 [kgf] | 3个 | |
| 负载能力 [N] | 29.4 | |
| 移动机构 | 蜗轮 | |
| 减速比 | 1/180 | |
| 指导 | 深沟球轴承 | |
| 主要成分 | 铝 - 黑色阳极氧化 | |
| 基本规格二 | [控制器] DS102/DS112 | 支持 （需要两端带连接器的电缆） |
| 电机选项 | 5相步进电机 | |
| 附属电缆 | 标准电缆 一端松动 2m | |
| 润滑脂规格 | 标准润滑脂 | |
| 最大速度 [°/秒] | 20 | |
| 分辨率 [°] | 0.004°/脉冲（整步） | |
| 停止精度 | 定位精度[°以内] | 0.05 |
| 定位重复精度 [±°以内] | 0.01 | |
| 空程[°以内] | 0.05 | |
| 运动精度 | 偏心量[μm以内] | 五 |
| 端面跳动 [μm 以内] | 30 | |
| 刚性 | 力矩刚度 [″/N・cm] | 0.84 |
| 宽容 | 平行度【μm以内】 | 50 |
| 背隙[°以内] | 0.05 | |
| 传感器 | 限位传感器 | - |
| 原点传感器 | 是的 | |
| 重量 | 重量 [公斤] | 0.6 |
| 配件 | 内六角螺栓 | M4-30【3件】 |