旋转蜗轮型SURUGA SEIKI（骏河精机）滑台应用于半导体设备KRW06360C-A基本规格Ⅰ舞台表面尺寸φ59mm移動量360°负载能力 [kgf]3负载能力 [N]29.4移動機構蜗轮減速比1/180指导深沟球轴承主材質铝 - 黑色阳极氧化基本规格二[控制器]DS102/DS112一致电机选项5相步进电机附属电缆标准电缆2m，两端带连接器润滑脂规格标准润滑脂最大速度[°/秒]20分解能[°
旋转蜗轮型SURUGA SEIKI（骏河精机）滑台应用于半导体设备KRW06360C-A
| 基本规格Ⅰ | 舞台表面尺寸 | φ59mm |
|---|---|---|
| 移動量 | 360° | |
| 负载能力 [kgf] | 3 | |
| 负载能力 [N] | 29.4 | |
| 移動機構 | 蜗轮 | |
| 減速比 | 1/180 | |
| 指导 | 深沟球轴承 | |
| 主材質 | 铝 - 黑色阳极氧化 | |
| 基本规格二 | [控制器] DS102/DS112 | 一致 |
| 电机选项 | 5相步进电机 | |
| 附属电缆 | 标准电缆 2m，两端带连接器 | |
| 润滑脂规格 | 标准润滑脂 | |
| 最大速度 [°/秒] | 20 | |
| 分解能[°] | 0.004°/脉冲（整步） | |
| 停止精度 | 定位精度[°以内] | 0.05 |
| 定位重复精度 [±°以内] | 0.01 | |
| 空程[°以内] | 0.05 | |
| 移動精度 | 偏芯量[μm以内] | 5 |
| 面振れ量[μm以内] | 30 | |
| 剛性 | 力矩刚度 [″/N・cm] | 0.84 |
| 公差 | 平行度[μm以内] | 50 |
| 背隙[°以内] | 0.05 | |
| 传感器 | 限位传感器 | - |
| 原点传感器 | 有 | |
| 重量 | 自重[kg] | 0.6 |
| 付属品 | 内六角螺栓 | M4-30[3本] |