KOSAKA小坂

KOSAKA 台阶仪 - 薄膜测厚仪 - 微细形状测定机 型号:ET10000

产品概述:● 对应大面积样品段差测定的全自动机型。● 机台尺寸可根据样品/工件尺寸订制。● 针对生产线全自动大型工件开发,可搭配机械手臂自动进退样品。台阶仪/膜厚仪ET10000产品参数重现性1σ 1nm测定范围Z:100um分解能Z:0.1nm X:0.1um测定力0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)

  • 型号:

产品概述:

● 对应大面积样品段差测定的全自动机型。

● 机台尺寸可根据样品/工件尺寸订制。

● 针对生产线全自动大型工件开发,可搭配机械手臂自动进退样品。

台阶仪/膜厚仪ET10000产品参数


重现性1σ 1nm
测定范围Z:100um
分解能Z:0.1nm X:0.1um
测定力0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)


台阶仪/膜厚仪ET10000产品参数


重现性1σ 1nm
测定范围Z:100um
分解能Z:0.1nm X:0.1um
测定力0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)


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