KOSAKA 台阶仪 - 薄膜测厚仪 - 微细形状测定机 型号:ET10000
产品概述:● 对应大面积样品段差测定的全自动机型。● 机台尺寸可根据样品/工件尺寸订制。● 针对生产线全自动大型工件开发,可搭配机械手臂自动进退样品。台阶仪/膜厚仪ET10000产品参数重现性1σ 1nm测定范围Z:100um分解能Z:0.1nm X:0.1um测定力0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)
- 型号:
产品概述:● 对应大面积样品段差测定的全自动机型。● 机台尺寸可根据样品/工件尺寸订制。● 针对生产线全自动大型工件开发,可搭配机械手臂自动进退样品。台阶仪/膜厚仪ET10000产品参数重现性1σ 1nm测定范围Z:100um分解能Z:0.1nm X:0.1um测定力0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)
产品概述:
● 针对生产线全自动大型工件开发,可搭配机械手臂自动进退样品。
台阶仪/膜厚仪ET10000产品参数
重现性 | 1σ 1nm |
---|---|
测定范围 | Z:100um |
分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
测定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
台阶仪/膜厚仪ET10000产品参数
重现性 | 1σ 1nm |
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测定范围 | Z:100um |
分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
测定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |