光度计/ UV-M10
特征・配备紫外线照射控制信号的紫外线光度计。・具备10路光量设定、光量测定、照度测定定时器设定、时间测定等多功能。・即使在光强度测量过程中，也可以切换显示，例如切换到照度或时间显示。・可以根据用途选择内置型UV-M10-P和桌面型UV-M10-S两种类型。（照片为桌面型。）・接收器标准设置为UV-35。通过更换可选接收器可以测量 UV-25 和 UV-42。规格接收者UV-35 (UV-SN35,
- 型号： UV-M10
特征
・配备紫外线照射控制信号的紫外线光度计。
・具备10路光量设定、光量测定、照度测定定时器设定、时间测定等多功能。
・即使在光强度测量过程中，也可以切换显示，例如切换到照度或时间显示。
・可以根据用途选择内置型UV-M10-P和桌面型UV-M10-S两种类型。（照片为桌面型。）
・接收器标准设置为UV-35。通过更换可选接收器可以测量 UV-25 和 UV-42。
规格
接收者 UV-35 (UV-SN35, UV-SD35) 测量光强范围 0.01～999.9mJ/c㎡ 计时器 0.01 至 999.9 秒 照明 可切换
范围 1 0.01 至 10.00
范围 2 0.1 至 50.0mW/c㎡可用范围 主机 0 至 40°C 接收器 0 至 60°C 电源 AC85-264V, 47-63Hz 输入/输出信号
（D-sub 连接器）输入 (1) 远程启动 (2) 远程停止
继电器触点输出 (1) NO（启动时开启） (2) NC (3) 警报对准精度 与我们的紫外线标准相比，在 ±2% 以内 重复性 ±1.0以内 照度计采样时间 1秒 尺寸 机身 207(W)×166(D)×80(H)mm
接收器 35(W)×55(D)×18(H)mm选项 中性过滤器 耐热传感器代码
接收器 UV-25、UV-42
SD型和SN型
SD型已被长期使用曝光设备和辐照设备的客户广泛采用，确保了过程管理的连续性。
SD 型适用于在半导体和液晶基板的制造过程中已经使用其他公司的照度计，并重视确保与这些测量仪器（投影型曝光设备）的数据兼容性的客户。用于液晶基板的曝光设备和周边曝光设备），以及完全不熟悉使用照度计的客户。
关于 SD 类型和 SN 类型指示值
为保证旧工艺数据的兼容性，SN型指示值为SD型。调整为显示比当时指示的照度值高39%：mW/cm2显示）。
