日本KISHIYAMA柏山工业株式会社 干式真空泵“SDL系列”

2023-04-20 15:23:11 admin

日本KISHIYAMA柏山工业株式会社 干式真空泵“SDL系列”


对于硬过程!用于大尺寸晶圆和 FPD 基板的大排量泵


图片关键词

“SDL系列”
是樫山工业的干式真空泵,在半导体和液晶制造等广泛领域赢得了高度信赖。

对应wafer和FPD的大型化。
通过组合可实现大排量,满足150,000L/min以上的需求。

此外,通过确保大气侧的排气速度,
大型负载锁定室的高速排气缩短了节拍时间。

溶剂排放规格也可提供,因此请与我们联系。

[特长]
■硬工序用
■大型晶圆、FPD对应
■节拍时间缩短

*详情请参考PDF文件或随时咨询。

基本信息干式真空泵“SDL系列”

【ラインアップ】
■SDL12E50
■SDL20E50
■SDL36M60
■SDL40E60
■SDL40E201
■SDL40EW201
■SDL80201

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。


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