三维形状测量机的原理

许多3D形状测量仪都采用白光干涉法，这是一种使用白光干涉仪的测量方法。光干涉是指光线从物体表面到某一点的距离存在差异时发生的现象。光学干涉仪利用这种现象来测量表面的凹凸。

光干涉会产生条纹图案，这是由于样品表面凹凸不平导致的光路差异造成的。条纹的数量代表样品表面凹凸不平的高度。实际应用中，会使用内置参考镜（称为干涉透镜）的物镜，将白光照射到参考镜和物镜上。上下移动物镜的同时，用相机观察干涉信号。