什么是3D形状测量机？

三维形状测量机是可以测量亚微米级表面形状的装置。

亚微米是微米以下的级别，1微米是1/1000毫米。3D形状测量机可以三维捕捉零件的形状，进行各种测量。

也用于测量电子元器件基板、半导体等的表面粗糙度、高度、厚度等，具有速度快、分辨率高、精度高等特点。

三维形状测量机根据其安装方式和测量方法也有多种类型，包括固定式和便携式、接触式和非接触式、激光跟踪仪和布局机。