半导体制造・洁净室中的露点计・氧气浓度计・温湿度计・风速计的介绍

半导体制造・洁净室中的露点计・氧气浓度计・温湿度计・风速计的介绍

在半导体制造过程中，水分和氧气的去除是重大挑战。我公司的露点计、温湿度计、氧气浓度计在半导体的制造、搬运、检查等各种工序中都有使用。此外，这些仪器也用于干燥空气的除湿和氮气、氩气、氦气、氢气等气体纯度的测量。在水分测量方面，除了TK-100静电力式露点计（氧化铝类型），可以测量最低-100℃的露点，还有TE-660露点计（高分子类型），可以测量最低-60℃的露点，以及MBW镜面冷却式（米勒式）露点计，可以在-95℃～+99℃的露点范围内进行高精度测量，作为露点计的基准器使用。在湿度领域，还有简易型的EE060和在高温高湿环境下进行露点测量的EE33防露环境温湿度计等产品。在氧气浓度计测量方面，当进行氢气置换以去除氧气时，使用2001LC电池式氧气浓度计进行PPM级别的分析；在没有氢气的情况下，使用Model 4100锆石类型氧气浓度计进行PPB级别的分析，这些仪器在各种场景中都有应用。此外，风速计在洁净室和制造设备内的微风测量中也表现出色。

用途／实绩例

【用途】 ●　手套箱内的露点管理 ●　干燥机/干燥空气的露点检查 ●　洁净室/干燥室的露点管理 ●　气体纯度管理 ●　半导体制造设备 ●　有机EL制造 　 以及其他多种用途