日本ULVAC爱发科水晶震荡式镀膜控制器多传感器CRTS-M6

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什么是机械增压泵？

　机械增压泵是一种可以大幅提高泵送速度的泵。

机械增压泵的特点

　通过与油旋片真空泵或干式泵等粗抽泵组合，

在粗抽泵排气速度下降的压力范围内，可以大幅提高排气速度。

【优点】在10KPa~0.1Pa的压力范围内，可大幅提高抽速。

【缺点】无法依靠大气压自行运转。

机械增压泵的工作原理

　机壳内的两个茧形转子通过轴端的驱动齿轮同步反向旋转。

从进气口进入的气体被困在机壳与转子之间的空间内，

随着转子的旋转而从排气口排出，再由下游级的辅助泵排入大气。

（罗茨真空泵作为一种高效的真空设备，

其工作原理依赖于转子在泵腔内的高速旋转，通过吸气、压缩和排气的过程实现抽真空‌。）