ULVAC爱发科工艺气体监测器兼容软件Qulee QCS Ver.4E

2025-04-18 18:31:09 admin

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反应工艺气体监测器 Qulee RGM2-201F 是一款具有差分泵送系统的工艺监测器，

可与“型号：Qulee”的蚀刻、

CVD 和 ALD 设备等反应工艺兼容。

ULVAC独特的离子源和排气系统结构对

反应气体具有出色的耐腐蚀性，可实现长时间稳定的测量。

特征

排气系统与控制系统一体化，可垂直安装，全球最小的占地面积，即使在空间有限的生产线上也能监测反应气体。

维护时更换灯丝套件的速度大幅提升，原来需要两名工人120分钟才能完成的工作，现在一个人10分钟就能完成。

双灯丝允许进行气体分析，即使第一根灯丝断裂，也无需停止生产线。

采用触摸面板，可实时确认情况。

从开机到测量的所有操作仅需使用一台计算机即可完成。

我们专有的带磁铁的封闭离子源即使

在反应过程中也能实现长时间的稳定测量。

高灵敏度的电离室具有最小的气体解离，

仅使用法拉第杯即可进行高灵敏度的气体分析。

防止因热反应而发生分解、吸附的小型流量控制阀。

缩短了从处理室到离子源的距离，从而能够快速响应分解。

增强的预防性维护功能：

离子源和二次电子倍增管的预防性维护。

分析管的可追溯功能（专利号：5016031）

标准软件兼容Windows 8/10/11。