爱发科ULVAC冻干设备残留气体分析离子源BGM-IS01
2025-04-18 17:35:06
admin
爱发科ULVAC冻干设备残留气体分析离子源BGM-IS01
残余气体分析仪/工艺气体监测器 (RGA) 在高压（1 Pa 或更低）下实现了高精度和高分辨率，
同时具有革命性的简单性和易用性。
根据各生产线设备工程师的反馈，
这是过程监控器新标准的到来。
适合溅射设备的工艺管理（提高质量和产量）。
特征
适合溅射工艺
空气泄漏监测
残留水分管理
过程监控无需差压泵系统...可测量低于 1 Pa 的压力，
节省空间
可进行高灵敏度泄漏测试（CGM2-052），
泄漏测试功能得到增强
可以测量总压力
一体式显示设计：无需电脑即可进行测量
操作简便 - 一键功能...任何人都可以轻松操作，
无需复杂的操作
Qulee QCS 软件作为标准配置
符合 CE 标准
