爱发科ULVAC测头测定子C-24单晶圆加工冷阴极电离真空计
2025-04-18 15:30:12
admin
爱发科ULVAC测头测定子C-24单晶圆加工冷阴极电离真空计
特征
集成传感器与测量电路结构
模拟和设定点输出
独立的伪对数和设定点输出（显示单元）
采用DIN标准尺寸48x96mm（显示单元）
应用
用于半导体、电子零部件等各种制造设备的工序控制
用于熔炉和其他工业设备的过程控制
用于具有多个工艺室的各种制造设备的过程控制，
例如在线和单晶圆加工
