爱发科ULVAC半导体冷阴极电离真空计G-TRAN SC1
2025-04-18 15:25:51
admin
爱发科ULVAC半导体冷阴极电离真空计G-TRAN SC1
特征
集成传感器与测量电路结构
模拟和设定点输出
独立的伪对数和设定点输出（显示单元）
采用DIN标准尺寸48x96mm（显示单元）
应用
用于半导体、电子零部件等各种制造设备的工序控制
用于熔炉和其他工业设备的过程控制
用于具有多个工艺室的各种制造设备的过程控制，
例如在线和单晶圆加工
