日本ULVAC爱发科 溅射离子泵电子束光刻设备PST-030CU
2025-04-16 19:20:16
admin
日本ULVAC爱发科 溅射离子泵电子束光刻设备PST-030CU
该泵利用溅射活性钛的吸气效应来增强超高真空范围内的抽气特性。
通过优化新元件和磁场，我们改善了极端和超高真空范围内的泵送特性。
特征
兼容极端和超高真空。连接一个 ISO 标准测试圆顶来演示
10 -9 Pa 的压力。
增强稀有气体排气型（AU型）可实现氩气排气性能的2倍。
（与本公司相比）
在超高真空范围内实现高排气速度。
可在短时间内抽真空至超高真空范围。
在超高真空范围内具有优异的启动特性。
（放电持续至超高真空区域）
应用
加速器
电子显微镜
电子束光刻设备
振动敏感分析设备
使用极端和超高真空环境
