日本ULVAC爱发科UTM1300A-MS蒸镀设备用涡轮分子泵
2025-04-16 17:31:06
admin
日本ULVAC爱发科UTM1300A-MS蒸镀设备用涡轮分子泵
带有独立控制器的涡轮分子泵，采用磁力轴承。
我们拥有一系列型号，抽速范围从 300 至 4000 L/s。
控制器单元可以监控运行状态并支持各种通信标准。
特征
泵体与控制器分开安装。
控制器可以监控运行状态并支持各种通信标准。
安装方向自由
由于安装方向没有限制，因此设备设计的自由度更大。
排气速度范围为 300L/s 至 4000L/s
泵速可以在 25% 至 100% 的范围内变化，
从而可以调节腔室压力。
高耐久性和安全性：
通过了大气进入试验、着陆试验等各种安全确认试验。
应用
各种设备的真空主排气系统
- 半导体制造设备
- 蒸镀设备
- 溅射设备
- 分析设备、实验设备等
- 研究开发设备
不产生副产品的轻工艺主排气系统
其他一般高真空排气应用
