ULVAC爱发科PVD-180-Z活性气体排气油旋转真空泵
2025-04-12 16:18:10
admin
ULVAC爱发科PVD-180-Z活性气体排气油旋转真空泵
特征
水冷强制供油系统，保证高负荷运转时气缸供油充足，
比差压供油系统提供更稳定的排气性能。
采用液压油防吸装置，当泵停止时，
可以防止油从油箱回流到吸入侧。
设计时考虑到了维护。除了采用大型油位计，
方便监控油况外，还配有维护盖，方便清洁油箱、
更换排气阀等。
应用
光学薄膜沉积设备
反射器沉积设备
装饰沉积设备
薄膜卷绕沉积设备
在线溅射设备
烘烤炉/热处理炉
冷冻干燥设备
泄漏检测设备
