日本ULVAC爱发科LR1800机械真空泵多级罗茨干式真空泵
2025-04-10 15:07:49
admin
日本ULVAC爱发科LR1800机械真空泵多级罗茨干式真空泵
通过在低温范围内均匀加热泵体，
该泵不仅适用于 PVD 工艺，
还适用于装载和卸载室的排气，
缩短排气时间对于提高吞吐量非常重要。
特征
低温范围内均匀受热（型号：LR）
除了 PVD 工艺外，它还特别适用于装载和卸载室的排气，
缩短排气时间对于提高吞吐量非常重要。
配备氦气密封
罐电机，其密封结构使其极其安全。
瞬间停电对策
采取长达1000毫秒的瞬间停电对策。
优良的耐腐蚀性
：主要部件均采用标准的特殊表面处理，具有较高的表面硬度和优良的耐腐蚀性。排出腐蚀性气体时减少泵内部的腐蚀。
通讯功能：
可以读取与泵运行状态和警告/警报历史相关的数据。通过使用专用软件和计算机通信，可以实现集中监控。
应用
成膜设备（溅射设备/蒸镀设备等）
缩短准备和取出室的排气时间
作为辅助排气泵（涡轮分子泵和机械增压泵的辅助排气）
