日本ULVAC爱发科LR3601-R氮气氩气惰性气体多级罗茨干式真空泵

2025-04-09 17:52:51 admin

日本ULVAC爱发科LR3601-R氮气氩气惰性气体多级罗茨干式真空泵

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“型号:ECO-SHOCK”是一款革命性的附件,
当连接到当前的干式真空泵时,可以显著降低能耗。

特征
有助于节约能源。
干式真空泵的功耗可降低高达 80%(与我们之前的型号相比)。
还具有抑制干泵发热的效果,
可降低空调设备的耗电量。
 *不能与用于排出易燃、
可燃气体或有毒气体的泵一起使用。
提高干泵性能
可期待提高极限压力性能降低排气噪音
在整个压力范围内排气速度
不下降在 1000 Pa 以下连续运行时间较多的应用中非常有效
 *可安装在排气口抽真空没有问题的干泵中。

应用
用于排出空气、氮气和氩气等惰性气体的干式真空泵
溅射装卸室用干式真空泵等。




风冷罗茨式干式真空泵。
排气室不使用油,
转子和气缸无接触运转,可长时间稳定运转。

特征
排气室为非接触式,不使用油,可长时间稳定排气。
不需要冷却水或氮气,有助于降低运行成本。
搭载直流封闭电机,实现了节能、气密、轻量化设计。
气镇机制可排出水蒸气。
符合标准:CE、cTUVus
应用
空气、惰性气体等清洁气体的真空排气
真空干燥等水蒸气排放(需使用气镇)
用于溅射、沉积等的真空设备。








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