日本ULVAC爱发科PRC-006A耐腐蚀 多级罗茨干式真空泵
2025-04-09 17:01:08
admin
日本ULVAC爱发科PRC-006A耐腐蚀 多级罗茨干式真空泵
通过将泵体的温度隔离在高温区域，
该泵可以将CVD、
蚀刻等过程中产生的升华性废气物质以气态排出。
特征
可以将在高温区域进行热等温CVD、
蚀刻等产生的升华性排气物质以气态排出。 “型号
：UR”可以达到比“型号：HR”更高的温度。
配备氦气密封
罐装电机，具有气密结构，极其安全。
瞬间停电对策
采取长达1000毫秒的瞬间停电对策。
优良的耐腐蚀性
：主要部件均采用标准的特殊表面处理，
具有较高的表面硬度和优良的耐腐蚀性。
排出腐蚀性气体时减少泵内部的腐蚀。
通讯功能：
可以读取与泵运行状态和警告/警报历史相关的数据。
通过使用专用软件和计算机通信，可以实现集中监控。
