日本ULVAC爱发科MS600A冷冻干燥设备 螺杆式干式真空泵
2025-04-09 15:55:40
admin
日本ULVAC爱发科MS600A冷冻干燥设备 螺杆式干式真空泵
“型号：MS”是一种属于螺杆式干式真空泵的真空泵。
该泵是基于传统的“LS型”泵，
提高了耐腐蚀性和粉末排出性能的耐工艺干式真空泵。
它设计用于涉及腐蚀性气体和粉末排气的真空工艺。
特征
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊的表面处理，实现了高耐腐蚀性能。
螺旋式转子轴采用独特的 ULVAC 设计，可提供高粉末排放性能。
从大气压到极限压力的整个压力范围内均可连续运行。
用途
真空排气系统
蚀刻设备、灰化设备、电子零件等离子清洗设备、
半导体制造设备等。
真空热处理炉、
烧结炉、渗碳炉等的真空排气系统。
锂电池制造设备真空排气系统
、电极干燥设备、脱气设备、注液设备等。
医疗及食品相关设备、
冷冻干燥设备、真空干燥设备等的真空排气系统。
