京都玉崎-G6-E-P1氢气氯气废气处理设备 EBARA荏原标配副产物清除功能

京都玉崎-G6-E-P1氢气氯气废气处理设备 EBARA荏原标配副产物清除功能

此燃烧型废气处理设备适用于半导体制造工艺中

（如：外延工艺）产生大流量氢气氯气的废气处理。

特点

●适合外延生长工艺气体处理的紧凑设计；

●可同时处理大流量氢气氯气，最大进气量为400L/min；

●标配副产物清除功能（燃烧器部分），保证正常运行时间。

该设备利用热分解技术和特殊的化学吸附作用，

对半导体氧化膜蚀刻等工艺中难以

分解的 PFCs 气体以氟基气体进行补充，

从而实现对 PFCs 气体的高效处理。 与燃烧

型、加热型和等离子型的系统不同，

此系统无需进行氢氟酸的废水处理，是一种环境

友好型产品。

●对PFCs被分解后的含氟气体进行固定处理，

无需废水处理；

●在最大进气量250L/min（双筒系统）时，

去除效率仍可达 99% 以上；

●250 L/min双筒系统：由于反应槽采用了串行流程设计，

设备的正常运行时间显著延长；

●100 L/min单筒系统：方便与传统干式废气处理设备相互置换。