京都玉崎-EBARA荏原G5-600-P4大流量废气处理设备标配自动除粉功能

京都玉崎-EBARA荏原G5-600-P4大流量废气处理设备标配自动除粉功能

G5 型得益于荏原独特的废气处理技术，

在气体处理性能、安全性和使用寿命

等方面都有着大幅的提升，并且具有高维护性。

该燃烧型废气处理系统有两种

类型，最大进气量分别为 350 L/min 和 500 L/min。

特点

●可处理各种可燃性、活性、惰性气体

（特别管控危险化学品除外）；

●可同时处理工艺气体和清洁气体；

●可高效分解包括PFCs在内的温室气体；

●低运行成本（根据处理的对象气体，燃料供给量可变）；

●大幅提升高运行时间和维护性（自动刮板、流水壁结构等）；

●设置有各种安全对策标准。

G5型得益于荏原独特的废气处理技术，

有着处理性能优秀、安全性高和使用

寿命长等优点。分为最大气体流量

 600L/min和1200L/min两种类型。适用于

半导体制造过程中如TEOS等含有

Si源的可燃气体的大流量废气处理。

特点

●比普通G5型更高的流量规格；

●进气口从4个增加到6个；

●标配副产物清除功能（燃烧器部分），可用性更高；

●标配自动除粉功能（储气罐部分），大幅延长维护周期；

●根据处理气体的类型和量按需运行（能耗自动变化），可降低运行成本。