日本原装 EBARA 荏原 TND-Single-P1腐蚀性及副产物 废气处理设备

日本原装 EBARA 荏原 TND-Single-P1腐蚀性及副产物 废气处理设备

G-WS型是一种湿式废气处理设备，

能以低成本安装并运行。此型号不需要燃料，

并且基于荏原针对燃烧型废气设备方面积累

的十多年独特副产物对策，实现了较

长的维护周期。通过延长正常运行的时间，

保证了运行的稳定，并降低维护成本和

人力成本。此外，维护窗口开设在设备正面，

即使在Sub-Fab有限的空间中也可以

进行灵活的布局。

特点

●无需燃料，运行成本低；

●通过多种副产物对策实现较长的维护周期；

●节省维修空间的设计；

●处理对象气体：NH3、DCS、TiCl4、WF6、HF、HCl等可在常温下处理的水溶性气体。

TND-Single型/TND-Single Plus型搭载

了荏原特别研发的新型燃烧器，实现了

对包括PFCs气体在内的各种废气的高效率处理。

同时通过各种应对腐蚀性及副产

物的对策，大大延长了维护周期。

特点

●以独特的燃烧方式，实现了高效的废气处理及较少的

NOX、CO排放；

●优化能耗降低运行成本；

●强化了对腐蚀性及副产物的对策，

维护周期是过去产品的3倍以上※；

●可同时处理工艺气体和清洁气体；

●有两种机型可供选择：燃烧+湿式洗涤

（Burn-Wet）的TND-Single型；前置清洗+燃

烧+湿式洗涤（Wet-Burn-Wet）的TND-Single Plus型。