EBARA 荏原EST500WN干式真空泵高流量排气 可应对腐蚀性气体

EBARA 荏原EST500WN干式真空泵高流量排气 可应对腐蚀性气体

EST型采用螺杆型转子，可应对CVD等工艺副产物的生成，

并具备大流量抽气、

耐腐蚀性、抽气速率可变、通信功能等额外功能。

特点

●可满足副产物生成的工艺

 （泵内气体可保持高温）；

●抽气速率高、流量大；

●搭载转速自动控制功能

 （自适应气体流量大小）；

●可应对腐蚀性气体

 （标配耐腐蚀性材料）；

●搭载高性能通信功能；

●先进的控制管理方式

 （数据保存功能、警报履历备份）。