原装日本EBARA 荏原EV-M502N干式真空泵 兼顾高负荷与低功耗

原装日本EBARA 荏原EV-M502N干式真空泵 兼顾高负荷与低功耗

EV-M 型可应用于在半导体、

液晶和太阳能电池制造工艺中有副产物生成的重

制程工艺。同时兼顾了对重制程工艺和节能的需求，

实现了停机风险的减少和

运行成本的降低。

特点

●产品系列丰富，可应对多种工艺、抽气速率需求；

●兼顾高负荷与低功耗；

●可应对腐蚀性气体（标配耐腐蚀材料）。

荏原独特的高温技术支持半导体、

液晶显示器和太阳能电池制造过程中产生反应

副产物的高负荷工艺。高节能性能可同时实

现高负荷工艺和节能。标准配置为耐腐蚀材料，

并且还包括排量为110,000 L/min的大排量型号

我们拥有适合各种工艺条件的丰富产品阵容，

能够处理各种高负荷工艺。