EV-S100 干式真空泵 用于轻负荷工艺 京都玉崎EBARA 荏原

EV-S100 干式真空泵 用于轻负荷工艺 京都玉崎EBARA 荏原

EV-S 型 为 独 立 安 装 的 罗 茨 型 干 泵，

有 着 从 轻 制 程 工 艺（如：load lock、SEM）

到腐蚀性工艺的广泛应用范围。

拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附

加功能的同时，

实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 ”。

特点

●在“低能耗、占地小、轻量化”方面达到一流水平；

●耐腐蚀材料、氮气吹扫功能（可选）；

●在不同频率（50/60Hz）下性能一致；

●通过增强的传感功能减少停机时间。