京都玉崎EBARA 荏原EV-X200N干式真空泵 适用于中等负荷工艺

京都玉崎EBARA 荏原EV-X200N干式真空泵 适用于中等负荷工艺

作为中等负荷工艺专用的干式真空泵，

搭载荏原特有的节能技术，采用面向自

动化工厂制造的优化模块设计，

并进一步实现了小型化和节能化。

 通过大范围的温度控制，扩大了适用工艺范围。

因同一机型能够覆盖多种工艺，

能够优化备用设备的库存，

减少用于维护和培训的人力时间，并且能够灵活应

对未来的工艺扩展。

产品介绍

该款中负荷工序用干式真空泵搭载了荏原独特的节能技术，

并采用了针对自动化工厂制造而优化的模块化设计，

实现了进一步的小型化和节能化。

宽范围的温度控制扩大了适用工艺。

由于同一型号可覆盖多个工艺，因此可优化备用设备库存，

减少维护和培训工作，并可灵活适应未来的工艺扩展。

此外，通过对各工序进行最佳温度控制，可提高工序耐性，

并可延长零件的更换周期，有助于降低TCoO。

支持的应用示例：各种蚀刻和CVD、灰化、

离子注入、外延生长等。

特点

●以大幅的温度控制实现大范围的工艺覆盖；

●低能耗、占地小；

●可耐受腐蚀性气体（采用标准耐腐蚀材料）；

●适用案例：各种蚀刻以及CVD、灰化、离子注入、外延生长等。