什么是干泵及应用？ 玉崎

干泵是不使用油或其他液体产生真空的各种真空泵的总称。

干泵是与湿泵形成对比的名称，湿泵使用油等来产生真空。有罗茨式干泵、涡旋式干泵、爪式干泵、隔膜式干泵等几种不同机理的类型。

此外，与旋转泵不同，它不会排放油雾，因此适合在清洁环境中使用。

干泵使用

干泵主要应用于半导体生产线、食品加工线以及电子显微镜等各种科学分析设备。在这些应用中，必须避免使用环境的污染。干泵最大的特点是废气中不会有油雾的污染，因此干泵适合需要清洁环境的应用。

但干泵的极限真空度约为1Pa，并不算高。当需要高真空时，与涡轮分子泵或离子泵组合使用。另外，排气速度根据类型的不同而不同，因此需要根据用途选择合适的类型。