质量流量控制器原理

质量流量控制器由传感器、旁路、流体控制阀和电路组成。热式流量传感器通常用作流量传感器。流体被传递到质量流量控制器内的传感器和旁路。在传感器中，在流体流经的管道周围缠绕有加热器，将管道上游和下游流动的气体之间的温差转换成电信号来测量流量。热质量传感器对可发送到传感器的流体量有限制。

因此，通过将一部分流量输送至传感器，其余流量输送至旁路，可以保持分流比恒定，从而即使在流量较大时也可以高精度地控制流量。流体控制阀根据传感器测量的流量来调节流量。流体控制阀使用电磁执行器、热执行器和压电执行器作为执行器（将电信号转换为物理运动的装置） 。